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工厂振动设计

高层/建筑物振动设计

超精密工厂(Fab.)振动设计及精密设备振动控制

精密检查/生产设备及研究用分析室的振动控制

微振动控制及设计

超精密工厂(Fab.)建筑物动态设计

初期Concept设计 桩及基础结构设计 根据振动设计目标值对建筑物结构进行设计 根据精密设备的安装位置进行振动控制及设计 设备,duct,配管线的隔震设计

超精密研究所及实验室振动控制系统

原有超精密工厂改造及Capa.-up设计

应用范围

OLED, LCD, LED, PDP (Fab.)建筑物动态设计

半导体工厂建筑物动态设计

研究所精密显微镜及测试设备振动控制设计

原有超精密工厂改造及Capa.-up设计

工程业绩

三星OLED A2, A3工厂项目

工程业绩

三星OLED A2, A3工厂项目

三星中国苏州LCD工厂项目

三星LCD 7, 8 Line工厂项目

LG display LCD P9 工厂项目

LG display中国广州LCD工厂项目

LG display LCD P4, P5,P6,P7,P8 工厂项目

SK海力士半岛体利川M14工厂项目

SK海力士半岛体青州M11, M12工厂项目

Amkor K5工厂项目

中国BOE OLED B6工厂项目

中国BOE LCD B8工厂项目

中国BOE LCD B1 - B5工厂项目

中国BOE LTPS/AMOLED B7工厂项目

中国BOE AMOLED B11及B12工厂项目

中国济南富能半导体工厂项目

振动测试及评价,消减对策设计

精密检测/生产设备振动控制

振动源,及传达特性测试 通过动态特性来进行分析及评价 设计振动方案

研究实验室及分析室振动的振动控制设计

手术室振动控制设计及医疗机器振动控制设计

应用范围

振动问题产生时检测/生产设备振动测试及评价

高倍光学设备振动控制(SEM, TEM, AFM, E-Beam等)

对CR内的振动源(STK, AGV, OHT)进行控制

对引发振动的设备(SMT,PRESS等)进行振动控制

工程业绩

现代汽车南阳研究所开发试验项目

研究园区(R3~R5, DSR,材料园区)项目

韩国电子研究院密阳纳米中心曝光设备振动控制

SDC A3 OHT (Semes)振动影响性评价

韩国电子研究院密阳纳米中心曝光设备振动控制

大邱京釜科学技术院项目

全罗纳米集成中心项目

韩国科学技术院纳米综合项目

未来产业SMT设备动荷载及振动控制评价

三星中国苏州LCD SMT设备增设项目

LG dislapy M2 STK振动影响性评价

东义产业金泉工厂Press楼项目

医疗机器振动测试及评价

中国成都真芯半导体工厂结构振动设计及周边地铁影响性评价

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