现代电子厂房设备对环境振动要求非常严格，因此需对振源采取有效的隔振措施，使环境对精密设备的影响尽量小。
防微振基台就是根据场地的结构，周围振源的振动情况等影响，设计出合理有效的防微振基台，让精密设备能正常运行。
光刻机基台
曝光机基台
